隨著城市用水量的逐漸增大，水資源短缺越來越嚴(yán)重，如處理后水直接排放，浪費(fèi)了寶貴的水資源。水回用勢(shì)在必行，水回用具有極高的社會(huì)效益和環(huán)境效益，它一方面可以減少環(huán)境排污量，減少環(huán)境污染。多晶硅、單晶硅生產(chǎn)廢水在電子半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢水。多晶硅生產(chǎn)和研磨過程中產(chǎn)生的廢水水量較大、傳統(tǒng)方法處理后出水的有毒有害金屬離子、氟等不能穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，對(duì)水資源環(huán)境造成的污染日益嚴(yán)重，同時(shí)由于我國水資源時(shí)空分布極不均勻，未回收利用的氯硅烷低沸物和氯化氫、提純分離塔的不凝氣體、還原爐開停爐置換尾氣、各系統(tǒng)檢修時(shí)的置換尾氣等工藝廢氣經(jīng)尾氣淋洗塔淋洗處理產(chǎn)生的酸性廢水，其水量與工藝廢氣的排放量、氯硅烷和氯化氫的濃度有直接關(guān)系。為確保處理后的廢氣達(dá)標(biāo)排放，工藝廢氣的排放量或其中的氯硅烷、氯化氫濃度越大，產(chǎn)生的廢水量越大。
聚合氯化鋁溶液配制。A120，含量>30％、鹽基度>80％的聚合氯化鋁按比例緩慢投加到用回用水定容的聚合氯化鋁溶解配置攪拌槽中，不斷攪拌配制成5％的聚合氯化鋁溶液，打開放液閥，使配制好的聚合氯化鋁溶液進(jìn)入溶液槽中供處理系統(tǒng)使用，兩組溶液槽一組配制一組使用。
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